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产品分类
产品简介
产品型号 | 晶圆铜雾离子检测设备-HD |
应用场景 | QC Lab |
检测缺陷 | 判断晶圆COP 缺陷,辅助晶棒品质分析 |
检测精度 | ±1mm |
产能 | COP 分布快速分析成像 |
产品特点 | COP 分布快速分析成像 |
晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″(尺寸可定制) |
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产品型号 | 晶圆铜雾离子检测设备-HD |
应用场景 | QC Lab |
检测缺陷 | 判断晶圆COP 缺陷,辅助晶棒品质分析 |
检测精度 | ±1mm |
产能 | COP 分布快速分析成像 |
产品特点 | COP 分布快速分析成像 |
晶圆直径 | Ф6″、Ф8″、Ф12″(尺寸可定制) |