浙江芯晖装备技术有限公司
首页 > 产品中心 > 粉体焙烧炉 > 12 英寸硅单晶生长炉
产品详情
12 英寸硅单晶生长炉
12 英寸硅单晶生长炉的图片
参考报价:
面议
品牌:
芯晖装备
关注度:
14
样本:
暂无
型号:
12 英寸硅单晶生长炉
产地:
浙江
信息完整度:
典型用户:
暂无
非金属电热元件:
其他
金属电热元件:
其他
烧结气氛:
其他
温控精度:
±2.0
索取资料及报价
认证信息
 
名 称:浙江芯晖装备技术有限公司
认 证:工商信息已核实
访问量:371
手机网站
扫一扫,手机访问更轻松
产品分类
公司品牌
品牌传达企业理念
产品简介

技术参数

项目

参数

单位

XINHUI

晶棒长度

· 2100 

mm

 2100

晶棒直径

· 308 

mm

 ≥ 308

碳含量

· < 0.30 

ppma 

< 0.10

晶体

· COP ≥ 26nm (no pattern) 

>85



体金属

· Bulk Metal Cu

atom/cm3

≤ 1E11

· Bulk Metal Ni

 atom/cm3 

≤ 1E10

· Bulk Metal Fe

 atom/cm3

Ave ≤ 2E9;Max ≤ 1E10

          

 提拉轴与坩埚轴对中偏差

· 多次开合操作后

mm 

≤ ± 1

· 承载在0-400kg 范围内变化

mm 

≤ ± 1

液面位置跟踪控制精度

-

mm 

±0.2

晶体直径控制精度

-

mm 

±2.0

投料量(含二次加料)

-

KG 

> 400


  • 推荐产品
  • 供应产品
  • 产品分类
我要咨询关闭
  • 类型:*     
  • 姓名:* 
  • 电话:* 
  • 单位:* 
  • Email: 
  •   留言内容:*
  • 让更多商家关注 发送留言