浙江芯晖装备技术有限公司
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产品详情
晶圆表面及边缘检测设备-SEDI
晶圆表面及边缘检测设备-SEDI的图片
参考报价:
面议
品牌:
芯晖装备
关注度:
15
样本:
暂无
型号:
晶圆表面及边缘检测设备-SEDI
产地:
浙江
信息完整度:
典型用户:
暂无
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名 称:浙江芯晖装备技术有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介
产品型号

晶圆表面及边缘检测设备-SEDI

应用场景

清洗、成型、抛光

检测缺陷

Particle、划伤、崩边、裂纹、Cloud、Pit、边缘缺陷

Particle:0.2μm;边缘1.25μm;Scratch:

检测精度

100um × 0.1um;Cloud:400μm ×400μm

产能85 WPH@300mm
产品特点微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC
晶圆直径Ф6″、Ф8″、Ф12″(尺寸可定制)
产品型号

晶圆表面及边缘检测设备-SEDI

应用场景

清洗、成型、抛光

检测缺陷

Particle、划伤、崩边、裂纹、Cloud、Pit、边缘缺陷

Particle:0.2μm;边缘1.25μm;Scratch:

检测精度

100um × 0.1um;Cloud:400μm ×400μm

产能85 WPH@300mm
产品特点微粒检测、缺陷分布、不良分类、ADC
晶圆直径Ф6″、Ф8″、Ф12″(尺寸可定制)


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